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    氣體質量流量計/控制器

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    Line Tech氣體質量流量計

     

     產品特點:

    快速的響應時間

    無泄漏

    優秀的抗腐蝕性

    極好的線性

    較高的長期穩定性

    寬泛的壓力范圍

    模塊化設計

    較高的性價比

     

    技術指標:

    流量范圍
    10SCCM-125SLPM
    響應時間
    2sec
    準確度
    1%FS
    重復精度
    ±0.25%
    輸入/輸出信號
    0-5VDC,4-20mA
    供電電源
    +15~28VDC,350mA
    耐壓
    <9MPa
    工作環境溫度
    0-50
    泄漏率
    1*10-9atm.cc/sec

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